Читальный зал -->  Металлические покрытия МПП 

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 [ 22 ] 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81

Спектр поглощения позитивного фоторезиста имеет два характерных максимума: первый на длине 350 нм, второй длинноволновый - 420 или 480 нм. Под действием света диазосоединения разлагаются с образованием инденкарбоновых кислот, растворимых в слабых растворах щелочей [29]. Для использования в качестве фоторезистов подходят производные 0-хинондиазидов, формула которых в общем виде может быть записана так:

, где R-H, алкил, арип

Для повышения кислотостойкости и предотвращения нежелательной кристаллизации применяют композиции диазосоединений с различными полимерами. Растворителями служат спирты, кетоны, широко используется, например, диоксан, циклогексан, ксилол. Рекомендуется использовать смеси из 2 ... 6 растворителей с различными упругостями паров, при этом заметно улучшается процесс пленкообразования, снижается пористость и внутренние напряжения пленки. Готовый позитивный фоторезист может иметь следующий (примерный) состав:

1,2-нафтохипондиазид (2)-5-сульфоэфир новолака - (3 ... 5) 10-3 кг

новолачная смола № 18-(6 ... 10) 10- кг

ксилол - 70 ... 80 мл

монометиловый эфир ацетатгликоля - 20 ... 30 мл.

Для получения 1,2-нафтохинондиазида (2)-5-сульфо-эфира новолака можно использовать выпускаемую промышленностью нафтосульфокислоту. Фоторезист наносится на сухую поверхность фольгированной заготовки в один слой. Сушка слоя фоторезиста на основе диазосоединений производится в две стадии:

1) при комнатной температуре в течение 15 ... 20 мин (удаляются легколетучие компоненты из смеси растворителей),

2) в термостате с циркуляцией воздуха при температуре 353 К в течение 30 ... 40 мин.

Если при проявлении слой на участках, подвергшийся действию света, краснеет, на не удаляется проявителем, то слой был пересушен. При облучении актиничным светом производные 0-хинондиазидов расщепляются, происходит деструкция молекул, сужение бензольного кольца. Молекула азота удаляется и образуется индеке-тен (I), немедленно поглощающий присутствующую в пленке воду и переходящий в инденкарбоновую кислоту (П):

=с=о А

-соон.

в качестве проявителя слоя используются растворы тринатрийфосфата, соды, слабые растворы щелочей. Для ослабления контакта проявителя со светочувствительным слоем и более полного проявления изображения рекомендуется вводить в состав проявителя вязкие составляющие, например глицерин. При обработке слоя растворами щелочей, аммиаком, растворами фосфатов щелочных металлов инденкарбоновая кислота образует соли, легко растворимые в воде. Например, при обработке тринатрийфосфатом образуется натриевая соль

Таким образом, в основу процесса проявления этого фоторезиста положена реакция нейтрализации - взаимодействие между кислотой и щелочью. Полученная соль легко вымывается водой. При проявлении позитивного изображения раствор обычно окрашивается в малиновый цвет. Это объясняется тем, что часть инденкарбо-новых кислот превращается не в растворимые натриевые соли, а соединяется с непрореагировавшим хинондиази-дом, в результате чего образуется краситель красного

цвета [30]. На неэкспонированных участках проявитель даже не смачивает поверхности пленки.

Для проявления рисунка схемы, полученного на основе диазосоединений, разработана установка модульной конструкции со струйной подачей раствора (рис. 6.7).

*Рис. 6.7. Установка для проявления рисунка схемы печатных плат.

Рис. 6.8. Установка снятия фоторезиста.

Установка состоит из модулей проявления, промывки и сушки.

Основные технические характеристики

Размеры обрабатываемых заготовок, мм:

максимальный......... 500X500

минимальный ......... 140X150

толщина............. 0,05...3,0

Скорость конвейера, м/мин..... 0,2...2

Производительность, шт/ч..... 75

Мощность, кВт.......... 47 30<?

Габаритные размеры, мм...... 11 895X1030X1680

Масса, кг.............ifySo

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 [ 22 ] 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81

ООО «Мягкий Дом» - это Отечественный производитель мебели. Наша профильная продукция - это диваны еврокнижка. Каждый диван можем изготовить в соответствии с Вашими пожеланияи (размер, ткань и материал). Осуществляем бесплатную доставку и сборку.



Звоните! Ежедневно!
 (926)274-88-54 
Продажа и изготовление мебели.

Копирование контента сайта запрещено.
Авторские права защищаются адвокатской коллегией г. Москвы.