Читальный зал -->  Солнечные элементы 

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 [ 77 ] 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91

Т 10 -

w/T, к-

2,S 3,0 3,S t,0 \S 5,0 10/T, K-

Рис. 6.11. Температурные зависимости холловской подвижности поликрнсталличе-ской пленки CdS, полученной методом термического испарения в вакууме, при трех значотях приложенного к пленке напряжшия Vp

Рис. 6.12. Темновые температурные зависимости концентрации н подвижности электронов в поликрнсталлических пленках CdS, полученных методом пиролиза, после отжига в вакууме прн 120°С в течение 18 ч. Для инициирования адсорбции кислорода пленки предваригепыю отжигались иа воздухе прн 100°С в течение 18 ч [Wu С, Bube R. Н. J. Appl. Phys., 1974, vol. 45]

При высокотемпературном отжиге поликристаллических пленок CdS в различных средах резко изменяется удельное злектрическое сопротивление (рис. 6.13). При больших удельных сопротивлениях пленок CdS, подвергшихся отжигу, наблюдают нестабильность при адсорбции кислорода; отожженные пленки с низким удельным сопротивлением (не более 1 Ом-см), наоборот, стабильны. Эффекты, наблюдаемые при высокотемпературном отжиге, можно объяснить, во-первых, уменьшением количества кислорода, адсорбированного на границах зерен; во-вторых, адсорбцией водорода на границах зерен, приводящей к аннигиляции поверхностных состояний на границах зерен (т. е. к пассивации разорванных связей; в-третьих, частичной рекристаллизацией зерен с увеличением их размера или отжигом дислокационных дефектов; в-четвертых, диффузией атомов S из объема кристаллита, приводящей к росту Nd (К1еждоузельные атомы Cd и S являются донорами).

Влияние границ зерен на подвижность электронов в пленке 81, полученной термическим испарением в вакууме, показано на рис. 6.14, где приведена также зависимость удельного сопротивления, измеренного в плоскости, параллельной поверхности пленки Si, от концентрации носителей заряда. Только при высоких концентрациях подвижность носителей в этих пленках приближается к значениям, характерным для массивных материалов. Холловская подвижность проходит через минимум (~ 1 см В~-с~) при уровне легирования, немного превышающем 10* см~, при котором высота барьера максимальна. Интересные результаты по изменению удельного сопротивления поликристаллнческих

В темноте

На свету

I ,1, I I 1 L.

0 100 200 300 Ш Температура отжигаZ

200 400 BOO

т,-с

Рис. 6.13. Влияние отжига в различных средах на электрические свойства пленок CdS: зависимости уделыюго сопротивления пленки CdS, осажденной методом термического испарения в вакууме при температуре подложки 300°С, от температуры отжига в среде Нг {а); уделыюго сопротивления (б) н подвижности (при комнатной температуре) (в) пленок CdS от температуры отжига в среде Нг и на воздухе

10 10* 1010

+ Эксперимент -Teopii

Кони,еитраи,ия легирования, см

10 W 10 Концентрация легирования, см*

10 10 10 10 Концентрация легирования, см

Рис. 6.14. Зависимости холловской подвижности {а), уделыюго сопротивления (б) и концентрации носителей заряда (в) от концентрации легирующей примеси в пленках Si, выращенных методом химического осаждения нз паровой фазы на подложках SiOj и легированных методом ионной имплантации с последуюищм отжигом при 1100°С. Толщина слоев 1 мкм, средний размер зна по данным проевечива]<>-щей электронной микроскопии 320 им. Все измерения проводились при комнатной температуре [Seto J. Y. W. J. Appl. Phys., 1975, vol. 46]

Концентраи электронов, си

Рис. 6.15. Зависимость подвижности электроиов от их концентрации в не-легарованных пленках л-1пР, полученных путем химического осаждения из паров металлоорганических соединений на изолируюиих подложках:

О- (100) GaAs:Cr; #- (111) GaAs:Cr; х- (100)lnP:Fe; ;-5-номера( данные для которых приведены на рис. 6.16

Рис. 6.16. Температурная зависимость подвижности электронов в трех нелегированных пленках л-1пР:

1-3 - номера образцов, результаты для которых приведены на рис. 6.15; 2 и 3 соответствуют подвижностям электронов при освещении

пленок GaAs (и - и р-типа), нолученных методом химического газофазного осаждения из металлоорганических соединений, содержатся в [Yang е.а., 1980].

В большинстве рассмотренных до сих пор пленок размер зерен бьш мал и основное влияние на перенос носителей заряда оказывали границы, а не сам их объем. Аналогичные результаты, однако менее ярко выраженные, наблюдают даже в эпитаксиальных слоях, например в пленках и - InP, осажденных методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений на подложках GaAs и InP [Tsai, Bube, 1978]. Зависимость подвижности в этих пленках при комнатной температуре от концентрации свободных электронов показана на рис. 6.15. При значении концентрации около 310* см~ и выше подвижность растет, а при больших концентрациях - спадает с ростом концентрации свободных электронов. При высоких концентрациях преобладает механизм рассеяния на заряженных примесях и температурная зависимость подвижности совпадает с аналогичной зависимостью для монокристаллов. Однако при низких значениях концентраций свободных электронов, по-видимому, включается барьерный механим, причем высоты потенциальных барьеров в обедненной области вблизи них обратно пропорциональны концентрации электронов.

На рис. 6.16 показаны температурные зависимости подвижностей трех пленочных образцов, данные о которых измерены в широком диапазоне температур. Для двух из них показаны соответствующие зависимости при освещении. Подвижность электронов в монокристалле

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 [ 77 ] 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91

ООО «Мягкий Дом» - это Отечественный производитель мебели. Наша профильная продукция - это диваны еврокнижка. Каждый диван можем изготовить в соответствии с Вашими пожеланияи (размер, ткань и материал). Осуществляем бесплатную доставку и сборку.



Звоните! Ежедневно!
 (926)274-88-54 
Продажа и изготовление мебели.

Копирование контента сайта запрещено.
Авторские права защищаются адвокатской коллегией г. Москвы.