![]() |
Звоните! (926)274-88-54 Бесплатная доставка. Бесплатная сборка. |
Ассортимент тканей График работы: Ежедневно. С 8-00 до 20-00. Почта: soft_hous@mail.ru |
![]() ![]() ![]() |
Читальный зал --> Солнечные элементы Li Sb P AS Ag re 0,033 ---- 0,0 ¥5 0,04S---- ---- В Al &a In Zn Cu Au Ag Рис. 4.8. Измеренные энергаи ионизации различных примесей в Si. Энергаи доноров Д и акцепторов А отсчитываются от дна зоны проводимости для центров, расположенных выше середины запрещенной зоны, и от потолка валентной зоны для центров, расположенных ниже середины запрещенной зоны нием квазиуровня Ферми. Как правило, уровни, расположенные в пределах нескольких А: Г от зоны проводимости или валентной зоны, являются эффективными донорами или акцепторами, но не представляют собой рекомбинационные центры. Обратное утверждение справедливо для близких к центру запрещенной зоны, особенно это касается глубоких донорноподобных (акцепторноподобных) состояний в материале р-типа ( -типа), являющихся эффективными рекомбинационными центрами, снижающими время жизни носителей заряда. На рис. 4.8 показаны энергетические уровни различных примесей в Si. Детальный обзор по этому вопросу написан Ченом и Милнсом [Chen, Milnes, 1980]. 4.3.1. Легирующие примеси Легирующую примесь для любого полупроводника выбирают исходя из положения ее энергетического уровня в запрещенной зоне, растворимости в полупроводнике и коэффициента диффузии D. При слшпком большом значении D атомы примеси подвижны даже при комнатной температуре, что приводит к нестабильности (в 20-летнем временном масштабе). Коэффициенты диффузии некоторых элементов в кремнии приведены на рис. 4.9. Примесь, кроме того, должна иметь коэффициент сегрегации, соответствующий выбранному способу выращивания кристалла. В качестве легирующих примесей в кремнии наиболее часто используют фосфор (донорная) и бор (акцепторная примесь). Вследствие рассеяния на заряженной примеси подвижность электронов и дырок уменьшается с ростом концентраций Nq и донорной и акцепторной примесей (рис. 4.10). Это уменьшение наступает при Nq иЛ - - 10* см в кремнии как п-, так и р-типов проводимости. Кроме того, при большой концентрации примеси может уменьшиться время жизни неосновных носителей заряда вследствие искажения кристаллической решетки и комплексообразования. В кремниевых солнечных элементах необходимо учитьшать механизм оже-рекомбинации. Поэтому эффективное время жизни т неосновных носителей заряда связано с временем жизни тр по рекомбинационному И - Зак. 609 161 nooz 115S S75C ![]() Рис. 4.9. Зависимости коэффициентов диффузии D различных элементов от обратной температуры механизму Шокли-Рида-Холла и временем жизни по механизму оже-рекомбинации соотношением 1оУг.,°к- где в случае материала р-типа проводимости Tgjf= (Пр - Про)/и, а т = = 1/(С 2) l/(Cj) для n-Si и Up = 1/(<рР) - 1/(Ср) для p-Si. Константы С и Ср оже-рекомбинационного процесса равны соответственно 2,8-10 Э1 и 1-10 см*/с [Hall, 1981]. В качественных материалах, где Tgjff - 50 мкс, при или Np 1 5-10 см эффективное время жизни носителей заряда определяется оже-рекомбинацией [Fisher, Pschunder, 1975]. Указанное влияние степени легирования на подвижность и время жизни носителей заряда ограничивает пределы по концентрации легирующей примеси в активных светопоглощающих слоях солнечных элементов. 4,3.2, Примеси, снижающие время жизни носителей заряда Неполный список примесных элементов, образующих уровни в середине запрещенной зоны, обусловливающие уменьшение времени жизни носителей заряда в кремнии, приведен в табл. 4.1, где указаны и предельные концентрации примесей, допустимые для изготовления солнечного элемента с КПД 7? 10% [Wakefield е. а., 1975; Hill е. а., 1976]. 1Сак показано на рис. 4.11, время жизни т линейно зависит от концентрации этих примесей. Например, концентрация Аи в кремнии не должна превьпиать 10 %. Особенно опасны для Si примеси Na, Си и Fe, поскольку они, кроме того, имеют высокие коэффициенты диффузии. Особое влияние оказывают дефекты или примеси, введенные в процессе выращивания кристалла; обусловленный ими диапазон изменений времен жизни носителей заряда может быть достаточно велик. При последующей технологической обработке также может происходить значительное изменение г (рис. 4.12) за счет образования комплексов примесей и других дефектов в процессе термообработки при относительно низких температурах [Graff, Fischer, 1979]. -250К оо ,(,J о ![]() - зоок \ 350 к souY, I I lllllll I I......I ........I I I lllllll I I lllllll I I III 10 ?
10f S) Л, cm Phc. 4.10. Завнснмостн подвижности Pg электронов в кремнии n-тнпа, легированном фосфором, от концентрации Njy донорной примеси н температуры (а) и подвижности дырок в кремннн р-тнпа, легированном бором, от концентрации N акцепторной прнмесн н температуры (б) lllllll- ![]() ![]() Рис. 4.11. Зависимость времени жизни Трнеосновных носителей заряда в n-Si от концентрации N, примеси Аи. Из этой зависимости следует, что, сечение захвата дырок Ор = 5-10 см; Tj - температура насыщения золотом (Grove, Physics and Technology of Semiconductor Devices. New York, Wiley, 1967 j Рис. 4.12. Зависимость времени жизни т неравновесных носителей заряда от температуры Тд изохронного отжига кремния с удельным сопротивлением 1 Ом см, выращенного методом Чохральского
ООО «Мягкий Дом» - это Отечественный производитель мебели. Наша профильная продукция - это диваны еврокнижка. Каждый диван можем изготовить в соответствии с Вашими пожеланияи (размер, ткань и материал). Осуществляем бесплатную доставку и сборку. Звоните! Ежедневно! (926)274-88-54 Продажа и изготовление мебели. Копирование контента сайта запрещено. Авторские права защищаются адвокатской коллегией г. Москвы. |